一种α-氮化硅粉体的制备方法[发明专利]
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专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种α-氮化硅粉体的制备方法专利类型：发明专利
发明人：杨德安,高春兰,王硕,曹利生申请号：CN201910268498.2申请日：20190404公开号：CN109970035A公开日：20190705
摘要：本发明是一种α‑氮化硅粉体的制备方法，将掺杂CrO粉体的硅粉进行球磨，添加氮化硅磨球和酒精；放入球磨机中进行球磨，然后球磨后的CrO的硅粉进行抽滤，去除硅粉中的酒精；将抽滤过后的粉体在真空干燥箱中进行烘干，去除残留的酒精；将上述真空干燥后的样品进行研磨过筛，获得颗粒均匀的粉体；将上述研磨后的掺杂CrO的硅粉体放入高温管式炉中，抽真空，通入氮氢混合气，以小于等于5℃/min升至800℃，再以小于等于3℃/min升至1300‑1400℃，并保温2‑4h；即得到氮化硅粉体。本发明具有氮化温度低、成本低、氮化周期短；所制备的粉体中α‑SiN相高达96wt％，粒径小且部分为纤维状。
申请人：天津大学
地址：300350 天津市津南区海河教育园雅观路135号天津大学北洋园校区
国籍：CN
代理机构：天津一同创新知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：王丽
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