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专利名称：用于制备化合物的气相沉积方法专利类型：发明专利
发明人：布赖恩·埃利奥特·海登,克里斯托弗·爱德华·李,邓肯·
克利福德·艾伦·史密斯,马克·斯蒂芬·比尔,吕晓娟,矢田千宏
申请号：CN201280036116.X申请日：20120720公开号：CN104093876A公开日：20141008
摘要：本发明提供一种用于制备化合物的气相沉积方法，其中，所述方法包括将所述化合物的每种成分元素以蒸气提供，和将所述成分元素蒸气共沉积在共同的基材上，其中：使用裂化源提供至少一种成分元素的蒸气；使用等离子源提供至少一种其他成分元素的蒸气；并且提供至少一种另外的成分元素蒸气；其中，所述成分元素在所述基材上反应，以形成所述化合物。
申请人：爱利卡技术有限公司,丰田自动车株式会社
地址：英国南安普敦
国籍：GB
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：贺卫国
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