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基板切割装置[实用新型专利]

来源:化拓教育网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:基板切割装置专利类型:实用新型专利发明人:朴鲁贤

申请号:CN201921605353.9申请日:20190925公开号:CN211367409U公开日:20200828

摘要:根据本实用新型实施例的基板切割装置可以包括:吸附部件,构成为能够吸附单位基板;虚设部加压部件,当吸附部件吸附单位基板时,对存在于单位基板的边缘部的虚设部加压;以及气体喷射喷嘴,设置在所述吸附部件的周围,并构成为向吸附在所述吸附部件的所述单位基板的边缘部喷射气体,以去除残留在所述单位基板的边缘部上的虚设部。

申请人:塔工程有限公司

地址:韩国庆尚北道

国籍:KR

代理机构:北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)

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