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专利名称：基板切割装置专利类型：实用新型专利
发明人：李峻硕,曲今镐,卢光硕,河完龙申请号：CN201821911673.2申请日：20181120公开号：CN209567998U公开日：20191101
摘要：本实用新型实施例中的一种基板切割装置，包括：划片单元，包括划片头，其具有在基板上形成划线的划片轮；以及将基板移送至划片单元的移送单元。划片头包括：具有划片轮的划片模块，使划片模块向着垂直方向移动的垂直移动模块，以及测量划片模块的垂直振动的垂直振动检测模块。
申请人：塔工程有限公司
地址：韩国庆尚北道
国籍：KR
代理机构：北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)
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