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专利名称：生物传感器装置及其形成方法专利类型：发明专利
发明人：陈东村,杨健国,黄睿政,陈昆龙,廖大传,谢正祥申请号：CN201710610942.5申请日：20170725公开号：CN107799596A公开日：20180313
摘要：本发明的一些实施例提供生物传感器装置及其形成方法。腔室形成于衬底中且经配置以接纳一或多个带电分子。晶体管形成于所述衬底中且包括在横向方向上与所述腔室空间分离的源极区域、漏极区域及沟道区域。所述晶体管的栅极放置于所述腔室下方且延伸于所述腔室与所述源极区域、所述漏极区域及所述沟道区域之间。所述栅极的电压电位是基于所述腔室中的所述带电分子的数目。
申请人：积体电路制造股份有限公司
地址：中国新竹市新竹科学工业园力行六路8号
国籍：TW
代理机构：北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人：路勇
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