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专利名称：一种生物传感器及其制作方法专利类型：发明专利
发明人：卢瀚仑,陈志涛,刘宁炀,任远,梁锡辉申请号：CN201910996342.6申请日：20191018公开号：CN110715969A公开日：20200121
摘要：本申请提供了一种生物传感器及其制作方法，涉及半导体技术领域。首先基于一衬底制作生物传感器的本体结构，其中，所述本体结构包括栅电极层，然后沿所述栅电极层外延生长过渡层，并对所述过渡层进行刻蚀，以在所述过渡层的表面形成多个凸起，最后沿所述过渡层的表面偶联生物活性分子，以形成所述生物传感器，其中，所述生物活性分子分布于每个凸起的表面和/或每两个凸起之间。本申请提供的生物传感器及其制作方法具有承载的生物活性分子的量更加灵活的效果。
申请人：广东省半导体产业技术研究院
地址：510000 广东省广州市天河区长兴路363号
国籍：CN
代理机构：北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：董艳芳
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