一种钨合金靶材及其制备方法[发明专利]
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专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种钨合金靶材及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：崔明培,王家生,任山,朱湘平申请号：CN201110113308.3申请日：20110504公开号：CN102139371A公开日：20110803
摘要：本发明公开了一种大尺寸、高密度和高纯度的高温钨合金靶材，及其制备方法。该制备方法采用独特的变压及双模式组合烧结技术，具体包括以下操作步骤：在真空和变压条件下，采用等离子放电和直流电双模式组合方式对靶材原料粉末进行烧结，得到钨合金靶材。本发明技术可以制备密度大于99.98％TD、成分及微观组织结构均匀可控的大尺寸难熔合金靶材，达到现有高温难熔合金靶材制备技术无法实现的高性能和大尺寸。同时本发明技术具有烧结时间短、能量效率高、设备及模具损耗小的特点，有效的降低了生产制备成本。
申请人：佛山市钜仕泰粉末冶金有限公司
地址：528244 广东省佛山市南海区里水沙涌村下沙陈合院工业区11号
国籍：CN
代理机构：广州市华学知识产权代理有限公司
代理人：陈燕娴
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