一种带闭环控制系统的微机电干涉平台及其控制方法[发明专利]
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专利名称：一种带闭环控制系统的微机电干涉平台及其控制方
法
专利类型：发明专利
发明人：兰树明,谢会开,陈巧,王元光,王卫喜,周正伟申请号：CN201310241484.4申请日：20130618公开号：CN103293667A公开日：20130911
摘要：本发明公开了一种带闭环控制系统的微机电干涉平台及其控制方法，该微干涉平台包括光路系统和闭环控制电路系统；光路系统中，通过监测打在四象限探测器上的反射光斑是否发生偏移判断干涉平台的动镜是否发生偏移，当四象限探测器检测到光斑偏移后，闭环控制电路系统通过算法处理将驱动微镜的电压信号作出相应的调整，使干涉平台的动镜恢复到初始设定的角度，在干涉平台动镜整个轴向运动过程中自动将微镜锁定在初始角度，以此实现动镜面型的控制。该平台可实时控制，保证微镜镜面的准确性，采用微加工方式的干涉系统成本低，易实现，实用性强。
申请人：无锡微奥科技有限公司
地址：214028 江苏省无锡市新区长江路16号8905室
国籍：CN
代理机构：北京品源专利代理有限公司
代理人：胡彬
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