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专利名称：一种基于硅微谐振器的太赫兹波检测器专利类型：发明专利
发明人：韦学勇,陈轩,蒋庄德,赵玉龙,吴文明申请号：CN201710613067.6申请日：20170725公开号：CN107505281A公开日：20171222
摘要：一种基于硅微谐振器的太赫兹波检测器，包括单晶硅基底，单晶硅基底上生长一层二氧化硅绝缘层，二氧化硅绝缘层上设有单晶硅结构层，单晶硅结构层上附着有太赫兹吸收材料结构；单晶硅结构层包括检测谐振子，检测谐振子周围均布了四个固定端，固定端上附着有金属电极层，固定端末端连接的电容极板与检测谐振子形成电容，通过电容对检测谐振子进行激振和检测；与固定端呈45°夹角分布有四个支撑端与检测谐振子相连，其上也附着有金属电极层；太赫兹波照射检测器时检测谐振子的谐振频率发生变化，通过检测到的谐振频率的变化，即可反演出检测器的温度以及太赫兹波的照射功率；本发明具有精度高、检测功率范围广、响应速度快、工作温度要求低等优点。
申请人：西安交通大学
地址：710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
国籍：CN
代理机构：西安智大知识产权代理事务所
代理人：贺建斌
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