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专利名称：半导体热处理设备的温控方法专利类型：发明专利发明人：张乾,王艾
申请号：CN201310688368.7申请日：20131216公开号：CN103677009A公开日：20140326
摘要：本发明涉及一种半导体热处理设备的温控方法，热处理设备包括炉体和设于炉体中的工艺管，晶圆在工艺管中进行半导体工艺，炉体包括多个温区，每一温区中至少设有一超温热偶和多个控温热偶，超温热偶用于感测温区中的温度，控温热偶用于调节温区中的温度，方法包括如下步骤：a)对超温热偶与控温热偶的报警信号进行加权评分；b)若评分不低于第一阈值，则停止向热处理设备输出电功率。该方法增加了实施停止加热措施时的可信度，还可通过对主、辅控温热偶的调整，有针对性地采用不同的控温模式，更好地保证设备的可靠稳定运行。
申请人：北京七星华创电子股份有限公司
地址：100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
国籍：CN
代理机构：上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
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