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在控制栅极边缘上操作存储装置的方法与结构[发明专利]

来源:化拓教育网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:在控制栅极边缘上操作存储装置的方法与结构专利类型:发明专利发明人:吴昭谊

申请号:CN200710111918.3申请日:20070620公开号:CN101093860A公开日:20071226

摘要:本发明的电荷捕捉存储装置与方法,利用边缘诱发效应而增加第二位操作区间。此边缘诱发效应发生于字线底下的区域,使得当对存储装置使用空穴注入法时,空穴电荷储存于电荷捕捉层中,电荷捕捉层与字线正交,且空穴电荷沿着字线的边缘储存。在实施例中,虚拟接地阵列包括电荷捕捉层,其设置于二介质层之间,使得源极与漏极区域之上没有电荷捕捉层。施加空穴注入至此虚拟接地阵列之后,空穴电荷沿着每一字线的边缘储存,因为字线的边缘与非边缘部分相较之下,其电场较大。

申请人:旺宏电子股份有限公司

地址:中国新竹科学工业园区

国籍:CN

代理机构:永新专利商标代理有限公司

代理人:王英

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