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专利名称：一种LED光子晶体的制备方法专利类型：发明专利发明人：刘中凡,王作斌申请号：CN201510233631.2申请日：20150508公开号：CN104795482A公开日：20150722
摘要：本发明涉及一种LED光子晶体的制备方法，采用Nd：YAG激光的三倍频激光束作为直接刻蚀激光，波长为λ，经分束镜分成三束相干激光，所述三束相干激光之间任意两束相干激光形成相同夹角θ，且所述三束相干激光均具有相同偏振方向，并同时汇聚在LED芯片的透明电极薄膜上；通过给予Nd：YAG激光器一个或者多个脉冲，最后形成了具有一定周期T和孔径大小的光子晶体。该方法可以一次完成在芯片表面制备光子晶体，工艺简单、方便快捷，无需掩没、后处理等步骤；所制备的光子晶体周期可控，通过改变夹角θ的范围即可得到周期为300nm-μm的光子晶体；加工面积大、加工低成本，适用于批量化、规模化生产。
申请人：大连民族学院
地址：116600 辽宁省大连市经济技术开发区辽河西路18号
国籍：CN
代理机构：大连智高专利事务所(特殊普通合伙)
代理人：李猛
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