金属抛光组合物,使用组合物进行抛光的方法以及使用抛光方法来生
来源：化拓教育网
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：金属抛光组合物,使用组合物进行抛光的方法以及使
用抛光方法来生产晶片的方法
专利类型：发明专利
发明人：佐藤孝志,西冈绫子,伊藤大悟申请号：CN03816146.X申请日：20030606公开号：CN1665902A公开日：20050907
摘要：一种含有由通式(1)所表示的胺的金属抛光组合物，其中m代表从1到3的整数，n代表从0到2的整数，m和n使得(3－n－m)是0到2的整数；A代表碳原子数为1到5的取代亚苯基、亚苯基或直链或支化亚烷基；R1和R3各自独立地代表氢或碳原子数为1到5的取代或未取代的烃基；R3代表碳原子数为1到20的取代或未取代的烃基；R1和R3的组合、R2和R3的组合以及A和R3的组合可以形成环状结构；R1、R2、R3和A可各自形成环状结构。
申请人：昭和电工株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京市中咨律师事务所
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