洁净度等级对照-iso洁净等级

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19级可能是参照的ISO的标准\\国际标准,

欧阳歌谷（2021.02.01）

一般我们所说的百级相当于ISO5级 万级相当于ISO7级 十万级相当于ISO8级 一百万级相当于ISO9级

1，洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净品级 还有著名的美国联邦标准（Fed.St.209系列）可以参考；

2，ISO1644的ISO5相当于Fed.St.209系列的100级（≥0.5μm粒子，≤3.5颗/升，或100颗/ft3，或3530颗/m3）

3，洁净度品级在100级以下者（1000，10000级等）通经常使用0.5μm粒径考核的居多；

4，随着微电子技术的成长，洁净度品级相应提高，洁净室检测粒径也越来越小（见表），对粒子检测仪器的要求固然也越来越高，对洁净室设计和施工方而言，在验收时，可能不止用一个粒径（如0.5μm）而要用到更多的粒径，如0.3 μm 0.2μm 甚至0.1μm对洁净室进行检测评定。

欧阳歌谷创编 2021年2月

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欧阳歌谷创编 2021年2月

1 ISO 1644国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度品级 ISO1 ISO2 ISO3 ISO4 ISO5 ISO6 ISO7 ISO8 ISO9

即是或年夜于相应粒径的最年夜允许浓度（粒/m3） 0.1μm 10 100 1000 10000 100000 1000000 0.2μm 2 24 237 2365 23651 236514 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm 10 102 1018 10176 101763 4 35 352 3517 35168 351676 3516757 35167572 8 83 832 8318 83176 831764 8317638 29 293 2925 29251 292511 欧阳歌谷创编 2021年2月

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