一种防漏硅护盘及单晶炉

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201822075740.8 （22）申请日 2018.12.11

（71）申请人 丽江隆基硅材料有限公司

地址 674802 云南省丽江市华坪县石龙坝清洁载能产业园区

（10）申请公布号 CN209114035U

（43）申请公布日 2019.07.16

（72）发明人 王少辉;杨杰;王永利;姚建科;王江锋 （74）专利代理机构 北京知迪知识产权代理有限公司

代理人 王胜利

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种防漏硅护盘及单晶炉

（57）摘要

本实用新型提供了一种防漏硅护盘，包括

第一金属板和第二金属板，第一金属板和第二金属板叠层设置，第一金属板靠近单晶炉炉体内的炉体底部。第二金属板设置在第一金属板上，并位于单晶炉炉体内的坩埚的下方，第一金属板和第二金属板上还分别设置有与炉体底部上的安装孔位置相对应的多个安装孔。第二金属板为用于防止单晶炉内的硅液烧穿的金属板。本实用新型还提供了一种单晶炉。采用了上述技术方案，第

一金属板和第二金属板通过安装孔与炉体底部紧固连接，当坩埚破裂发生大面积硅液泄漏时，硅液流入防漏硅护盘的第二金属板上，由于第二金属板为防止硅液烧穿的金属板，可以对炉体底部进行防护，防止硅液烧坏炉体底部，对其它零部件造成损坏。

法律状态

法律状态公告日2019-07-16

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授权

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说明书

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