用于衬底监测的设备及方法[发明专利]
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专利名称：用于衬底监测的设备及方法专利类型：发明专利
发明人：施博瀚,庄胜翔,刘旭水,白峻荣,郭守文申请号：CN201910554523.3申请日：20190625公开号：CN110875215A公开日：20200310
摘要：本发明实施例涉及一种用于衬底监测的设备及方法。本揭露提供一种用于衬底监测的设备，其包含：腔室；可移动固持器，其位于所述腔室中，且经配置以固持衬底并在第一位置与第二位置之间传送所述衬底；第一监测器，其位于所述腔室中的所述第一位置与所述第二位置下方，且经配置以监测所述衬底的背侧；提升器，其位于所述腔室中的所述第二位置下方，且经配置以支撑所述衬底并将所述衬底从所述第二位置移动到第三位置；以及第二监测器，其位于所述腔室中的所述第三位置附近，且经配置以监测所述第三位置处的所述衬底的边缘。
申请人：台湾积体电路制造股份有限公司
地址：中国台湾新竹市新竹科学工业园力行六路8号
国籍：CN
代理机构：北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人：龚诗靖
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