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专利名称：激光器件和激光器件的制作方法专利类型：发明专利
发明人：林科闯,陈文欣,邱姝颖申请号：CN202010216813.X申请日：20200325公开号：CN111404023A公开日：20200710
摘要：本申请实施例提供的激光器件和激光器件的制作方法，包括基板以及形成于基板上的层叠设置的第一外延层组，在第一外延层组中包括通过离子注入所形成的N型掺杂层，该N型掺杂层呈环形状且内部形成一窗口。并且，在第一外延层组上还形成有第二外延层，在第一外延层组和第二外延层中，包含一由所述窗口的边缘分别向第一外延层组的方向和第二外延层的方向延伸后所形成的流通通道，电流从该流通通道流通。该激光器件中，利用离子注入所形成的N型掺杂层代替传统的激光器件中通过外延沉积所形成的N型半导体层，简化了制作工艺上的复杂性，且由于该N型掺杂层直接采用离子注入层级中所形成，最终形成的激光器件的表面不具有凸起或凹槽，表面平整。
申请人：厦门市三安集成电路有限公司
地址：361100 福建省厦门市同安区洪塘镇民安大道753-799号
国籍：CN
代理机构：北京超成律师事务所
代理人：邓超
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