一种非球形硅溶胶的制备方法
来源：化拓教育网
（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201110240830.8 （22）申请日 2011.08.22
（71）申请人 天津晶岭电子材料科技有限公司
地址 300385 天津市西青区微电子园中晓园微六路2—B
（10）申请公布号 CN102390838A
（43）申请公布日 2012.03.28
（72）发明人 仲跻和;唐会明;马超;徐功涛
（74）专利代理机构 南京正联知识产权代理有限公司
代理人 卢霞
（51）Int.CI
C01B33/14;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种非球形硅溶胶的制备方法
（57）摘要
本发明提供了一种非球形硅溶胶的制备方
法，包括以下步骤：（1）制备粒径20～50nm的非球形硅溶胶晶种母液；（2）制备醇低于5wt%的水溶性硅溶胶。本发明具有如下技术效果：本发明采用溶胶-凝胶法，通过对反应过程中的加料配比、物料浓度、反应液pH、反应温度进行工艺控制，直接制备出具有非球形结构的硅溶胶。本发明副反应少、生长周期短、工艺简单，不需加
入添加剂、无机盐或进行表面改性等工艺。制备的硅溶胶能够应用于CMP技术粗抛过程的研磨抛光或作为其它粒子改性过程中所需的载体，非球形硅溶胶中球型颗粒所占的比例低于5%，胶体粒径在20~100nm可控，通过蒸发除水工艺控制水溶性硅溶胶中SiO
法律状态
法律状态公告日2012-03-28 2015-04-08
法律状态信息
公开
发明专利申请公布后的视为撤回
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权利要求说明书
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说明书
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