专利名称：离子源专利类型：发明专利发明人：前野修一申请号：CN03123232.9申请日：20030422公开号：CN1453818A公开日：20031105
摘要：一种离子源，其是长丝12的一部分，其具有覆盖部件22，该覆盖部件22把至少在构成原料气4的元素5(例如硼)达到液相存在温度的部分13的周围与长丝12之间空开间隙并加以包围。
申请人：日新电机株式会社
地址：日本京都府
国籍：JP
代理机构：北京市柳沈律师事务所
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