离子束引出电极和离子源[发明专利]
来源：化拓教育网
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：离子束引出电极和离子源专利类型：发明专利发明人：井内裕
申请号：CN201210428083.5申请日：20121031公开号：CN103094029A公开日：20130508
摘要：本发明公开一种离子束引出电极和离子源。一种离子束引出电极，包括：电极框架以及多个离子引出孔形成部件。多个离子引出孔形成部件在一方向上间隔地设置。各个离子引出孔形成部件的至少一端被可移动地支撑。多个离子引出孔形成部件包括至少一个第一离子引出孔形成部件，其具有基本上杆形的主体部以及从主体部延伸的第一过渡部。第一过渡部与邻近第一离子引出孔形成部件的第二离子引出孔形成部件接触。以及一种离子源，包括其中具有阴极的等离子体容器，以及邻近等离子体容器设置的至少一片离子束引出电极。
申请人：日新离子机器株式会社
地址：日本京都
国籍：JP
代理机构：中原信达知识产权代理有限责任公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容