专利名称:基于微波等离子体法处理工业有机废气的装置专利类型:发明专利
发明人:刘繁,汪建华,翁俊,孙祁申请号:CN201710211359.7申请日:20170331公开号:CN106984147A公开日:20170728
摘要:本发明公开了一种基于微波等离子体法处理工业有机废气的装置,包括磁控管、用于传输微波源的矩形激励波导、用于使微波按照一定的路线传输的环形器、微波谐振腔、以及用于吸收微波谐振腔反射回来微波的水负载,所述磁控管、矩形激励波导、环形器和微波谐振腔依次连接,所述水负载与环形器连接,所述微波谐振腔内设有喷嘴天线,该喷嘴天线包括多组可移动以调整总高度的分天线,所述微波谐振腔的一端设有用于通入待处理废气的进气管,所述微波谐振腔的另一端设有用于容纳激发的微波等离子体炬的废气处理腔。本发明提出的基于微波等离子体法处理工业有机废气的装置,实现了将低温等离子体技术处理废气产业化。
申请人:武汉工程大学
地址:430074 湖北省武汉市洪山区雄楚大街693号
国籍:CN
代理机构:湖北武汉永嘉专利代理有限公司
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