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专利名称：一种晶圆贴膜装置专利类型：实用新型专利
发明人：朱袁正,郭靖,朱久桃,李明芬,韩正华,张海城申请号：CN202021734797.5申请日：20200818公开号：CN2128193U公开日：20210302
摘要：本实用新型公开了一种晶圆贴膜装置，其可实现晶圆方向自动调整，便于后续加工工序进行，同时可实现自动贴膜，省时省力，可提高生产效率，其包括贴膜台、切膜机构、拉膜机构、压模机构，贴膜台的中部设置有用于放置晶圆的可旋转的转盘，切膜机构包括用于膜切割的切刀，拉膜机构包括新膜滚轮、废膜滚轮、支撑滚轮，膜的两端分别卷绕于新膜滚轮、废膜滚轮，膜的中部在支撑滚轮支撑作用下沿晶圆的顶端传动，压模机构包括压模滚轮，压模滚轮用于将膜贴装于晶圆的背面，其还包括定位装置、转盘驱动装置、控制器，定位装置包括与转盘对应的图像采集装置，图像采集装置、转盘驱动装置与控制器电连接。
申请人：无锡电基集成科技有限公司
地址：214000 江苏省无锡市新吴区研发二路以南、研发一路以东
国籍：CN
代理机构：无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)
代理人：曹慧萍
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