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专利名称：氧化物烧结体和溅射靶及它们的制造方法专利类型：发明专利
发明人：田尾幸树,中根靖夫,畠英雄申请号：CN201780022824.0申请日：20170209公开号：CN109071356A公开日：20181221
摘要：一种氧化物烧结体，其中，含有50～500ppm的锆，相对于除去氧以外的全部金属元素，设锌、铟、镓和锡的含量的比例(原子％)分别为[Zn]、[In]、[Ga]和[Sn]时，满足下式(1)～(3)。35原子％≤[Zn]≤55原子％…(1)20原子％≤([In]+[Ga])≤55原子％…(2)5原子％≤[Sn]≤25原子％…(3)。
申请人：株式会社钢臂功科研
地址：日本国兵库县
国籍：JP
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：张玉玲
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