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专利名称：用于干涉检测的方法和设备专利类型：发明专利
发明人：马提亚斯·贝尔,丹妮拉·斯顿夫,安德里亚斯·格布哈
特,斯蒂芬·里塞,乌维·D·泽特纳
申请号：CN201580071145.3申请日：20151126公开号：CN107250714A公开日：20171013
摘要：描述一种用于通过使用干涉检测构件来干涉检测至少两个光学功能表面(13、14)的形状和/或方位的方法和设备，该干涉检测构件包括：干涉仪(9)、光束成形光学元件(1)和校准标记(15、16、17、18)。通过光束成形光学元件(1)产生校准波前和检测波前，所述波前在校准标记(15、16、17、18)处和/或在光学功能表面(13、14)处透射或反射，进而产生测量波前。该方法和设备允许通过评估干涉仪(9)中的测量波前来测量光学功能表面(13、14)相对于彼此和/或相对于校准标记(15、16、17、18)的方位以及确定光学功能表面(13，14)与其期望几何形状和/或期望位置的形状偏差和/或方位偏差。
申请人：弗劳恩霍弗应用研究促进协会,弗里德里希·席勒-耶拿大学
地址：德国慕尼黑
国籍：DE
代理机构：北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙)
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