专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：介质阻挡放电等离子体发生器的电极制造方法专利类型：发明专利
发明人：马国佳,马贺,孙刚,王剑锋,武洪臣申请号：CN201010299467.2申请日：20101008公开号：CN101935820A公开日：20110105
摘要：本发明属于等离子体技术领域，涉及对介质阻挡放电等离子体发生器的电极制造方法的改进。其特征在于，利用离子注入及沉积设备在绝缘介质材料上沉积金属电极，制造的步骤如下：清洗绝缘介质材料；粘贴掩膜胶带；安装离子注入及沉积设备的溅射靶；安装加速栅；离子注入辅助沉积金属电极条薄膜。本发明不仅能够克服手工粘贴电极条方法电极条较厚、发热量大的缺点，改善发生器的放电效果，而且大大提高了电极条与基体材料的结合强度，防止电极条脱落，延长了发生器的使用寿命。
申请人：中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所
地址：100024 北京市朝阳区八里桥北
国籍：CN
代理机构：中国航空专利中心
代理人：梁瑞林
更多信息请下载全文后查看
