作者机构： 渭南师范学院物理系,陕西渭南714000出版物刊名： 天水师范学院学报页码： 32-34页
主题词： 钕掺杂;ZnO薄膜;XRD;AFM
摘要：通过XRD和AFM分析了Nd掺杂ZnO薄膜的表面形貌，表明随着Nd掺杂量的增加，ZnO薄膜的结晶度变差，薄膜表面变得粗糙，晶格畸变增大。
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