一种硅片用夹具[实用新型专利]

来源：化拓教育网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种硅片用夹具专利类型：实用新型专利

发明人：陈李刚,朱国强,侯海龙,蒋志彬,曾慧,纪步成申请号：CN201822211662.X申请日：20181227公开号：CN2093366U公开日：20190903

摘要：本实用新型涉及一种硅片用夹具，包括具有夹持腔的夹持盒体，其特征在于：包括设于夹持腔的两侧腔壁上相互对应且一端贯穿夹持腔内壁的凹槽、分别设于各对应凹槽内的夹持模块以及用于使得夹持模块与夹持盒体固定的定位组件；各夹持模块均包括设于各凹槽两侧槽壁之间的滑槽、分别设于各滑槽两侧槽壁上的限位槽、活动于各限位槽之间的限位片以及固定连接于各限位片之间且在滑槽内活动的转动销，各转动销上均固定连接有翻转夹块，各翻转夹块的两侧均间隔设有若干个且贯穿翻转夹块顶部和底部的第一卡槽、第二卡槽、相互对应的第三卡槽、相互对应的第四卡槽以及相互对应的第五卡槽；本实用新型的有益效果：夹持效果好，使用多元化。

申请人：衢州晶哲电子材料有限公司

地址：324022 浙江省衢州市衢江区岑一路11-1号1幢

国籍：CN

代理机构：衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙)

代理人：刘奇

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