控制自动导向小车的半导体工厂自动化系统及方法
来源：化拓教育网
（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（21）申请号 CN00118687.6 （22）申请日 2000.06.21
（71）申请人 现代电子产业株式会社
地址 韩国京畿道
（10）申请公布号 CN1278618A （43）申请公布日 2001.01.03
（72）发明人 高明载;曹荣洙
（74）专利代理机构 柳沈知识产权律师事务所
代理人 黄小临
（51）Int.CI
G06F9/00; G06F13/00; H01L21/00;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
控制自动导向小车的半导体工厂自动化系统及方法
（57）摘要
在半导体工厂自动化(FA)系统中控制自动
导向小车(AGV)的方法,包括:接收并存储改变的工艺设备工作模式信息;在全自动化工作模式下,执行预定半导体工艺处理并发送工艺过程完成信号;产生队列;根据队列检查存储的工艺设备的工作模式信息;如存储的工作模式信息不是全自动化工作
模式,中断向AGV传送队列来关闭AGV;反之根据队列激活AGV卸载该批半导体晶片。当由全自动化工作模式变为另一种工作模式时,可检查存储的工艺设备的工作模式信息有效控制AGV以在FA系统中关闭AGV。
法律状态
法律状态公告日
2001-01-03 2002-08-14 2004-08-25
法律状态信息
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回法律状态
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回
权利要求说明书
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说明书
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