专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：低温泵系统专利类型：发明专利
发明人：冈田隆弘,荒井德光,青木一俊申请号：CN200880104554.9申请日：20080825公开号：CN1017904A公开日：20100728
摘要：本发明提供了一种减小系统的成本和最小总功耗的低温泵系统。该低温泵系统包括分别配备有致冷器的多个低温泵(7a-7e)和用于将气体供应给所述致冷器的多个压缩机。所述压缩机包括充当主压缩机的差压控制压缩机(1a)和充当副压缩机的普通压缩机(6a-6c)。该低温泵系统也包括控制器(8)，该控制器控制差压控制压缩机(1a)的驱动，并且基于差压控制压缩机1a的驱动频率控制普通压缩机(6a-6c)的驱动。
申请人：佳能安内华股份有限公司
地址：日本神奈川
国籍：JP
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：刘志强
更多信息请下载全文后查看
