专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种流量控制器检测装置专利类型：实用新型专利发明人：赵海标,毕建璋,陈建荣申请号：CN201420544266.8申请日：20140922公开号：CN204087016U公开日：20150107
摘要：一种流量控制器检测装置，通过气体管路设置在待检测流量控制器的前端，它包括至少两个含有不同量程的流量侦测器，上述流量侦测器相互并联于气体管路上，其一端与上游供气端相连，另一端通过流量阀与流量控制器相连，本实用新型的流量控制器检测装置包含三个不同量程的流量侦测器，这三个流量控制器的量程分别为500m/h、1000m/h与1500m/h，本实用新型的流量控制器检测装置通过改变被测管路的连接方式，增设不同量程的流量侦测器来进行检测流量控制器的准确度，其结构简单，可适应复杂的检测环境，可以保证设置在金属气相沉积设备内的流量控制器准确有效，维护系统正常运行，提高单晶体薄膜的生长质量。
申请人：冠铨(山东)光电科技有限公司
地址：272000 山东省济宁市高新区崇文大道6688号(冠铨(山东)光电科技有限公司)
国籍：CN
代理机构：济宁众城专利事务所
代理人：李效宁
更多信息请下载全文后查看
