专利名称：锍盐化合物专利类型：发明专利
发明人：石原正巳,角野元重,深沢和仁,片野直树,今关重明申请号：CN01814742.9申请日：20010627公开号：CN1449379A公开日：20031015
摘要：本发明公开了通式[1]所示化合物和该化合物与重氮二砜化合物形成的组合物(式中，R，R和R各自地表示芳香族烃残基，Y表示由具有氟原子的碳数3或以上的羧酸衍生的阴离子，n表示1或2。条件是，R，R和R为在邻位和/或间位具有取代基的苯基的情况除外。)。如果将该化合物或该化合物与重氮二砜形成的组合物用作抗蚀剂的酸产生剂，具有所谓改善超微细图案的外形或侧壁粗糙的效果。而且，该化合物也可以用作光阳离子性聚合引发剂。
申请人：和光纯药工业株式会社
地址：日本大阪府
国籍：JP
代理机构：北京市中咨律师事务所
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