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专利名称：狭缝喷嘴的横向喷射均匀度测量装置及方法专利类型：发明专利发明人：赵康一
申请号：CN200710107439.4申请日：20070511公开号：CN101078881A公开日：20071128
摘要：本发明涉及用于测量基板涂敷装置(Substrate Coating Apparatus)的狭缝喷嘴(SlitNozzle)所喷出的光刻胶的喷射均匀度的装置及方法。本发明所提供的狭缝喷嘴的喷射均匀度测量装置包含：沿所述狭缝喷嘴的横向按照一定区间分配所述狭缝喷嘴所喷出的喷射液体的喷射液体分配器；测量所述喷射液体分配器所分配的各喷射液体量的喷射液体测量单元。
申请人：K.C.科技股份有限公司
地址：韩国京畿道安城市
国籍：KR
代理机构：北京铭硕知识产权代理有限公司
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