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专利名称：一种三维纳米天线阵列的制备方法专利类型：发明专利
发明人：吴文刚,陈小瑜,金生霄申请号：CN201910486144.5申请日：20190605公开号：CN110265793A公开日：20190920
摘要：本发明公开了一种三维纳米天线阵列的制备方法，属于微米/纳米加工技术领域。该方法利用绘制的二维展开阵列图形及三维转换图形；先在悬浮薄膜上应用FIB刻蚀出纳米天线二维阵列结构；然后再应用FIB‑SID技术，根据三维转换图形使前述结构转换成三维阵列结构。本发明采用的FIB‑SID技术制备纳米天线阵列，工艺方法简单、稳定并且对材料的适用性好，可实现高效率大规模三维阵列结构加工，推进了大规模三维超材料器件化的研究和应用。
申请人：北京大学
地址：100871 北京市海淀区颐和园路5号
国籍：CN
代理机构：北京万象新悦知识产权代理有限公司
代理人：贾晓玲
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