一种光电探测器及光电探测器的制备方法[发明专利]
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专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种光电探测器及光电探测器的制备方法专利类型：发明专利
发明人：向伟,郭敬书,赵彦立,曹均凯,秦龙,缪笛申请号：CN201711446656.6申请日：20171227公开号：CN109980038A公开日：20190705
摘要：本申请公开了一种光电探测器，包括自底层至顶层依次排列的吸收层、金属层、介质膜以及反射金属；吸收层用于吸收目标探测光；金属层包含条状光栅以及上接触电极，条状光栅的一侧位于吸收层之上，条状光栅用于聚集目标探测光，上接触电极用于通过电压与下接触电极形成电性连接；介质膜的一侧位于条状光栅的另一侧之上，介质膜的另一侧位于反射金属之下，介质膜用于提供谐振腔的腔体，反射金属用于反射目标探测光。本申请还提供了一种光电探测器的制备方法。本申请中利用条状光栅和反射金属可同时形成横向谐振腔效应和纵向谐振腔效应，以较薄的吸收区获取更高的光吸收率，且探测器的结构相对于谐振腔共振探测器而言更为简单，降低了制作成本。
申请人：海思光电子有限公司
地址：430079 湖北省武汉市东湖高新区高新大道999号
国籍：CN
代理机构：深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：王仲凯
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