专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：晶圆表面识别装置专利类型：实用新型专利发明人：郭名飞
申请号：CN201820877809.6申请日：20180607公开号：CN209461418U公开日：20191001
摘要：本实用新型提供一种晶圆表面识别装置，包括：激光模块，用于向晶圆表面发射激光；接收板，用于接收所述激光模块照射所述晶圆表面形成的反射光；摄像模块，用于获取所述接收板的图像并根据所述图像上是否呈现光斑确定所述晶圆表面状态。实用新型的晶圆表面识别装置通过漫反射型激光传感器照射晶圆表面，如果照射都在粗糙面，反射光线会在接收板上形成一个红色光斑，此时通过相机识别接收板上的光斑；如果照射在晶圆的光面，反射光线无法聚集到接收板上形成有效的光斑，通过相机的视觉识别接收板上是否有反射光斑，从而判断晶圆片的粗糙面和光面，解决人工识别错误率的产生，降低产品的损耗，提高生产效率，降低劳动力成本及生产成本。
申请人：上海福赛特机器人有限公司
地址：200230 上海市徐汇区虹梅路1801号A区凯科大厦305室
国籍：CN
代理机构：上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人：庞红芳
更多信息请下载全文后查看
